使用済レジスト用剥離液中のシアン化合物の除去方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-306732
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207906
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】アルカノールアミン化合物を含有する使用済レジスト用剥離液中のシアン化合物を除去し、使用済レジスト用剥離液の剥離性を回復するとともに、シアン化合物の濃縮に基づく作業環境の悪化を防止する方法を提供すること。【構成】アルカノールアミン化合物を含有する使用済レジスト用剥離液にアルカリ化合物を配合することを特徴とする使用済レジスト用剥離液中のシアン化合物の除去方法。

請求項（抜粋）：