特許
J-GLOBAL ID：200903091450811450
質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-052672
公開番号（公開出願番号）：特開2002-260576
出願日： 2001年02月27日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：
【要約】【課題】 イオン付着イオン化のイオン源を備えた質量分析装置で試料ガスとして吸着性を有するガスを用いるとき、当該ガスを高精度で質量分析する。【解決手段】 試料ガスが、ガス導入管35を経てイオン化室11に導入され、イオン化室内のイオン化領域24でイオン放出体21から放出された金属イオンを試料ガスに付着させることによりイオン化され、その後に分析室13で電磁場により質量分別される。上記ガス導入管35は、イオン化室11の内部に突き出させて配置され、かつガス導入管の先端導入口の位置が、その先端導入口からイオン化領域の中心部までの距離を、先端導入口からイオン化室の内壁までの距離の代表的最短値よりも短くなるように設けられる。
請求項（抜粋）：
吸着性を有する試料ガスが、ガス導入管を経てイオン化室に導入され、このイオン化室内のイオン化領域でイオン放出体から放出された金属イオンを前記試料ガスに付着させることによりイオン化され、その後に分析室で電磁場により質量分別される質量分析装置において、前記ガス導入管は、前記イオン化室の内部に突き出させて配置され、かつ前記ガス導入管の先端導入口の位置が、その先端導入口から前記イオン化領域の中心部までの距離を、前記先端導入口から前記イオン化室の内壁までの距離の代表的最短値よりも短くなるように設けられることを特徴とする質量分析装置。
IPC (3件)：
H01J 49/10
, G01N 27/62
, H01J 49/04
H01J 49/10
, G01N 27/62 G
, G01N 27/62 C
, G01N 27/62 X
, H01J 49/04
5C038EE01
, 5C038EF03
, 5C038GG13
, 5C038GH02
, 5C038GH04
