アモルファス表面層を有する研削材及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-355170
公開番号（公開出願番号）：特開2003-159653
出願日： 2001年11月20日
公開日（公表日）： 2003年06月03日
要約：

【要約】【課題】スラリーを安定に供給する必要がなく、装置が単純化でき、コストを低下でき、かつメインテナンスが容易になるとともに、砥粒の不均一な分布やパッドの変形による所望の平面度が得られない問題点を解消できる研削材を提供すること。【解決手段】 CVD法によって形成されてなり、表面粗さRaが1〜10μmの範囲にある無機化合物のアモルファス層を表面に有する研削材、及びこのアモルファス層の下に多孔性セラミック層が形成されている研削材。

請求項（抜粋）：

CVD法によって形成されてなり、表面粗さRaが1〜10μmの範囲にある無機化合物のアモルファス層を表面に有することを特徴とする研削材。

IPC (4件)：

B24D 3/00 310 , B24D 3/00 , B24D 3/00 340 , B24B 37/00

FI (4件)：

B24D 3/00 310 G , B24D 3/00 310 F , B24D 3/00 340 , B24B 37/00 C

Fターム (13件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA17 , 3C063AA02 , 3C063AB05 , 3C063BB13 , 3C063BF08 , 3C063BG01 , 3C063BG07 , 3C063CC11 , 3C063FF23

引用特許：

審査官引用 (8件)

研磨シート及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-056433 出願人：日立マクセル株式会社
研磨工具とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-344247 出願人：セイコー電子工業株式会社
特開平1-188272

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