特許
J-GLOBAL ID：200903091735793463

レーザー加工品の製造方法及びレーザー加工用保護シート

発明者：
浦入 正勝

浦入 正勝 について

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日野 敦司

日野 敦司 について

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松尾 直之

松尾 直之 について

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高橋 智一

高橋 智一 について


出願人/特許権者：
日東電工株式会社

日東電工株式会社 について


代理人 (4件)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-100141
公開番号（公開出願番号）：特開2005-279755
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に、分解物による被加工物表面の汚染を効果的に抑制でき、かつ加工精度を高くすることのできるレーザー加工用保護シートを用いたレーザー加工品の製造方法を提供することを目的とする。また、前記レーザー加工品の製造方法に用いられるレーザー加工用保護シートを提供することを目的とする。【解決手段】 基材上に少なくとも粘着剤層を有しており、かつ吸光係数比が1以上であるレーザー加工用保護シートを使用し、前記被加工物のレーザー光入射面側に該レーザー加工用保護シートの粘着剤層を貼付する工程、レーザー光を照射してレーザー加工用保護シート及び被加工物を加工する工程、レーザー加工用保護シートを加工後の被加工物から剥離する工程を含むレーザー加工品の製造方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基材上に少なくとも粘着剤層を有しており、かつ使用する被加工物の紫外領域波長λにおける吸光係数に対する前記基材の紫外領域波長λにおける吸光係数(吸光係数比=レーザー加工用保護シートの基材の紫外領域波長λにおける吸光係数/使用する被加工物の紫外領域波長λにおける吸光係数)が1以上であるレーザー加工用保護シートを使用し、前記被加工物のレーザー光入射面側に該レーザー加工用保護シートの粘着剤層を貼付する工程、レーザー光を照射してレーザー加工用保護シート及び被加工物を加工する工程、レーザー加工用保護シートを加工後の被加工物から剥離する工程を含むレーザー加工品の製造方法。
IPC (5件)：
B23K26/18 ,  B28D5/00 ,  C09J7/02 ,  C09J201/00 ,  H01L21/301
FI (6件)：
B23K26/18 ,  B28D5/00 Z ,  C09J7/02 Z ,  C09J201/00 ,  H01L21/78 M ,  H01L21/78 B
Fターム (35件)：
3C069AA01 ,  3C069BA08 ,  3C069CA03 ,  3C069CA05 ,  3C069CA06 ,  3C069CA11 ,  3C069EA02 ,  3C069EA05 ,  4E068AE01 ,  4E068AF01 ,  4E068CA04 ,  4E068CF04 ,  4E068DA09 ,  4E068DB01 ,  4E068DB12 ,  4E068DB13 ,  4J004AA10 ,  4J004AA17 ,  4J004AB06 ,  4J004AB07 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J040DB021 ,  4J040DE021 ,  4J040DF041 ,  4J040DF051 ,  4J040DF061 ,  4J040DF081 ,  4J040DF091 ,  4J040DH031 ,  4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040PA23 ,  4J040PA32
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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