特許
J-GLOBAL ID：200903091755416577
微細構造を有する素子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮園 博一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-073664
公開番号（公開出願番号）：特開2004-004621
出願日： 2003年03月18日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：
【課題】良好な格子溝パターンなどの微細構造を有する素子の製造方法を提供する。【解決手段】この微細構造を有する素子の製造方法は、ガラス基板1上にアルミニウム膜3を形成する工程と、アルミニウム膜3の表面に凹部3aのドット列を形成する工程と、凹部3aのドット列が形成されたアルミニウム膜3の表面を陰極6の表面と対向させた状態で陽極酸化することによって、線状の格子溝パターンを有する酸化アルミニウム膜8を形成する工程とを備える。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
基板上に金属層を形成する工程と、
前記金属層の表面に凹部のドット列を形成する工程と、
前記凹部のドット列が形成された金属層の表面を陰極面と対向させた状態で陽極酸化することによって、線状の格子溝パターンを有する金属酸化膜を形成する工程とを備えた、微細構造を有する素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
2H049AA03
, 2H049AA13
, 2H049AA31
, 2H049AA37
, 2H049AA46
, 2H049BA05
, 2H049BA42
, 2H049BA45
, 2H049BB62
, 2H049BC01
, 2H049BC09
