合成石英ガラスおよびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡辺望稔 , 三和晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-131342
公開番号（公開出願番号）：特開2005-298330
出願日： 2005年04月28日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：

【課題】均質性および耐紫外線性に優れた合成石英ガラスの提供。【解決手段】紫外域から真空紫外域の光を照射して使用される光学用合成石英ガラスにおいて、OH基およびフッ素を含有する合成石英ガラスで形成され、光使用領域においてOH基濃度の変動幅が15ppm以下、フッ素濃度の変動幅が15ppm以下であり、かつ塩素濃度が25ppm以下である合成石英ガラス。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

紫外域から真空紫外域の光を照射して使用される光学用合成石英ガラスにおいて、OH基およびフッ素を含有する合成石英ガラスで形成され、光使用領域においてOH基濃度の変動幅が15ppm以下、フッ素濃度の変動幅が15ppm以下であり、かつ塩素濃度が25ppm以下である合成石英ガラス。

IPC (4件)：

C03B20/00 , C03B8/04 , G03F1/08 , H01L21/027

FI (5件)：

C03B20/00 F , C03B8/04 P , G03F1/08 A , H01L21/30 502P , H01L21/30 515D

Fターム (7件)：

2H095BC27 , 2H095BC33 , 4G014AH15 , 4G014AH21 , 5F046CB10 , 5F046CB12 , 5F046CB17

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平3-88742号公報
透明石英ガラスとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-042252 出願人：旭硝子株式会社
真空紫外用石英ガラスの製造方法および石英ガラス光学部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-170984 出願人：株式会社ニコン

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審査官引用 (5件)

石英ガラス光学部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-221254 出願人：株式会社ニコン
真空紫外用石英ガラスの製造方法および石英ガラス光学部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-170984 出願人：株式会社ニコン
光学用石英ガラスとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-207486 出願人：旭硝子株式会社

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