特許
J-GLOBAL ID：200903092371844365

薬液供給装置および薬液供給方法

発明者：
矢島 丈夫

矢島 丈夫 について


出願人/特許権者：
株式会社コガネイ

株式会社コガネイ について


代理人 (3件)： 筒井 大和 ,  小塚 善高 ,  筒井 章子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-190460
公開番号（公開出願番号）：特開2008-018310
出願日： 2006年07月11日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：
【課題】廃棄する薬液をなくすことができ、清浄な薬液を塗布することができる薬液供給装置を提供する。【解決手段】この薬液供給装置は被処理物Wにノズル11から薬液を塗布するために使用される。ノズル11は移動ヘッド12に設けられており、塗布位置と待機位置との間を往復動する。薬液供給ユニット14の薬液タンク18とこの中の薬液を吐出するポンプ16とを有し、吐出された薬液はフィルタ22により濾過されて供給チューブ21によりノズル11に向けて供給される。移動ヘッド12にはノズル11から薬液を塗布する塗布状態と塗布を停止する停止状態とに作動する塗布バルブ23が設けられており、塗布バルブ23の弁室は循環チューブ27によりバッファタンク19に接続されている。循環チューブ27にはこの流路を開閉する循環バルブ28が設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被処理物に薬液を供給する薬液供給装置であって、 薬液を塗布するノズルを備え、往復動部材により塗布位置と待機位置との間を往復動する移動ヘッドと、 薬液タンクおよび当該薬液タンク内の薬液を吐出するポンプとを有する薬液供給ユニットと前記ノズルとの間に接続され、前記ポンプから吐出された薬液を前記ノズルに案内する供給チューブと、 前記移動ヘッドに設けられ、前記供給チューブ内の流路を開閉して前記ノズルから薬液を塗布する塗布状態と塗布を停止する停止状態とに作動する塗布バルブと、 前記供給チューブに連通され、前記移動ヘッドにまで供給された薬液を前記薬液供給ユニットに戻す循環チューブと、 前記循環チューブ内の流路を開閉して前記移動ヘッドから前記薬液供給ユニットに薬液を戻す循環状態と薬液の戻しを停止する循環停止状態とに作動する循環バルブとを有することを特徴とする薬液供給装置。
IPC (4件)：
B05C 11/10 ,  B05C 5/00 ,  H01L 21/027 ,  B05D 3/00
FI (4件)：
B05C11/10 ,  B05C5/00 101 ,  H01L21/30 564Z ,  B05D3/00 B
Fターム (16件)：
4D075AC06 ,  4D075AC84 ,  4D075DC30 ,  4D075EA05 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA31 ,  4F041BA34 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042BA12 ,  4F042CB02 ,  4F042CB08 ,  4F042CB18 ,  5F046JA01 ,  5F046JA27
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 薬液供給装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-123048   出願人：株式会社コガネイ
審査官引用 (7件)
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