特許
J-GLOBAL ID：200903092407210546
光プローブおよび光プローブ製造方法と走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-074663
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271337
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 微小開口を有する光プローブ先端部は平らに加工したコア部のみを露出させることで、ファイバーから光のアウトプットを大きく減衰させない光プローブを提供する。【解決手段】 光ファイバー1は、光を伝搬するコア部2と屈折率の異なるクラッド部3からなっており、光プローブの先端部4はナノメートルサイズで平らに微細加工されたコア部のみが露出しており、端部以外の部分が金属膜5で被覆されている。金属膜5としては金、白金、アルミニウム、クロム、ニッケル等の光を反射する材料が用いられる。
請求項（抜粋）：
コア部とクラッド部で構成される光ファイバーの先端近傍がテーパー状に尖鋭化され、端部が光学開口として機能する光プローブにおいて、その端部が平面であるコア部のみが露出されており端部以外の部分が金属膜で被覆されていることを特徴とする光プローブ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 E
, G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
