反射防止膜材料

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-126278
公開番号（公開出願番号）：特開平10-301268
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】反射防止膜上での化学増幅系レジストパターンのくびれ、裾引き形状を解消し、矩形なフォトレジストパターンを再現性よく形成できる反射防止膜材料の提供。【解決手段】少なくとも架橋剤、及び溶剤を含む反射防止膜材料に、酸性化合物、または塩基性化合物、もしくはこれら両方を添加する。

請求項（抜粋）：

少なくとも架橋剤、及び溶剤を含む反射防止膜材料において、酸性化合物及び塩基性化合物のうちのいずれか一方もしくは両方が添加されてなる、ことを特徴とする反射防止膜材料。

IPC (3件)：

G03F 7/004 506 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/004 506 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 574

引用特許：

審査官引用 (6件)

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