赤外線輻射検出器、特に赤外線検出ボロメータ、の製造法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-122633
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040824
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】赤外線輻射検出器の製造法、特に赤外線検出ボロメータの製造法に関する。【解決手段】赤外線検出ボロメータの製造方法は、以下のステップを含む:-基板(10又は41)上へサクリファイス層(11,12又は43)を形成する;-上記サクリファイス層(11,12又は43)をパターニングする;-上記サクリファイス層上へ本質的に多結晶シリコンゲルマニウムから構成される層(13又は42)を積層又は成長させる;-上記多結晶シリコンゲルマニウム上へ赤外線吸収体49を積層させる;-サクリファイス層(11,12又は43)を除去する。

請求項（抜粋）：

赤外線検出ボロメータの製造方法は、以下のステップを含む:-基板(10又は41)上へサクリファイス層(11,12又は43)を形成する;-上記サクリファイス層(11,12又は43)をパターニングする;-上記サクリファイス層上へ本質的に多結晶シリコンゲルマニウムから構成される層(13又は42)を積層又は成長させる;-上記多結晶シリコンゲルマニウム上へ赤外線吸収体49を積層させる;-サクリファイス層(11,12又は43)を除去する。

IPC (2件)：

H01L 31/0248 , G01J 1/02

FI (2件)：

H01L 31/08 H , G01J 1/02 C

引用特許：

審査官引用 (10件)

赤外線センサアレー及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-078375 出願人：エルジー電子株式会社
特開平3-136379
特開平3-192773

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