特許
J-GLOBAL ID：200903092784789990

デバイス製造装置および方法

発明者：
岩永 武彦

岩永 武彦 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-159145
公開番号（公開出願番号）：特開2000-349015
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 検出精度や制御特性を劣化なく簡便な構成で検出信号を取り込む。【解決手段】 複数の制御量を検出する各センサからのアナログ検出信号ANをAD変換し、パケット化して送信する信号前処理部43と、このパケットを受信し、前記AD変換された検出信号に基づいて、各制御量に対応した複数の制御対象を操作する各アクチュエータの操作量を決定する制御部とで制御装置を構成する。制御部は、前記AD変換された検出信号に所定の処理を施して出力する信号後処理部48と、この出力に基づいて各アクチュエータへの操作量の出力を行う制御演算部53とを備え、前記信号前処理部および信号後処理部間は少なくとも前記AD変換のためのトリガ信号のラインと、前記パケットの送受信用の1または複数のデータライン47とで接続され、前記AD変換は制御部における制御サイクルと同期し、かつ前記AD変換から操作量の出力までを同一または複数の制御サイクル内で行い、操作量の出力を前記同一または複数制御サイクル内あるいはその次のサイクルで行う。
請求項（抜粋）：
複数の制御量を検出する各センサからのアナログ検出信号をAD変換し、パケット化して送信する信号前処理部と、このパケットを受信し、前記AD変換された検出信号に基づいて、各制御量に対応した複数の制御対象を操作する各アクチュエータの操作量を決定する制御部とを具備することを特徴とする制御装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ,  F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  G05B 15/02 ,  H04L 12/28
FI (6件)：
H01L 21/30 516 Z ,  F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 F ,  G05B 15/02 A ,  H04L 11/00 310 Z
Fターム (37件)：
3J048AD05 ,  3J048DA01 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046AA28 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC15 ,  5F046CC18 ,  5F046DA05 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DB14 ,  5F046DC10 ,  5F046DC14 ,  5H215AA20 ,  5H215BB16 ,  5H215CC03 ,  5H215CX05 ,  5H215DD04 ,  5H215DD06 ,  5H215GG02 ,  5H215GG14 ,  5K033AA07 ,  5K033BA03 ,  5K033BA08 ,  5K033BA16 ,  5K033CB03 ,  5K033CC01 ,  5K033DA01 ,  5K033DA13 ,  5K033DB01 ,  5K033DB10 ,  5K033DB17
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 車両用制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-204164   出願人：株式会社デンソー
  • 半導体製造装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-257945   出願人：キヤノン株式会社
  • 電子制御ユニット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-249382   出願人：マツダ株式会社
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