特許
J-GLOBAL ID：200903093059634279
積層型ガスセンサ素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高橋 祥泰
, 岩倉 民芳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-039846
公開番号（公開出願番号）：特開2004-251654
出願日： 2003年02月18日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：
【課題】表面欠陥による不良品発生が少ない積層型ガスセンサ素子の製造方法を提供すること。【解決手段】被測定ガス中の特定ガス濃度を測定するセンサセルを備え,セラミック板を複数枚積層して構成した本体部と,通電により発熱する板状のヒータ部とを一体積層して構成した積層型ガスセンサ素子1を製造するにあたり,本体部形成用グリーンシート及びヒータ部形成用グリーンシートからなる積層体を焼成して積層型ガスセンサ素子1となし,少なくとも積層型ガスセンサ素子1の長手方向にかかる両側面193.194を研磨すると共に上記両側面193,194とヒータ部側素子表面191との間の稜辺196を面取りして研磨することで,表面欠陥を除去する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被測定ガス中の特定ガス濃度を測定するセンサセルを備え,セラミック板を複数枚積層して構成した本体部と,通電により発熱する板状のヒータ部とを一体積層して構成した積層型ガスセンサ素子を製造するにあたり,
本体部形成用グリーンシート及びヒータ部形成用グリーンシートからなる積層体を焼成して積層型ガスセンサ素子となし,
少なくとも積層型ガスセンサ素子の長手方向にかかる両側面を研磨することで,表面欠陥を除去することを特徴とする積層型ガスセンサ素子の製造方法。
IPC (4件)：
G01N27/409
, G01N27/04
, G01N27/41
, G01N27/416
G01N27/58 B
, G01N27/04 Z
, G01N27/46 325J
, G01N27/46 325D
, G01N27/46 331
, G01N27/46 371G
2G004BB04
, 2G004BD04
, 2G004BE04
, 2G004BE13
, 2G004BE22
, 2G004BF05
, 2G004BH15
, 2G004BJ03
, 2G004BL08
, 2G004BL19
, 2G004BM04
, 2G004BM07
, 2G060AA09
, 2G060AD01
, 2G060AE04
, 2G060AF02
, 2G060AF07
, 2G060AG10
, 2G060EA07
, 2G060GA01
, 2G060HC07
, 2G060HD01
, 2G060HD03
, 2G060HE01
, 2G060HE05
, 2G060KA15
