光機能デバイスおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山内梅雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-090576
公開番号（公開出願番号）：特開2003-287636
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】チャネルの構成部品同士の間隔を特に広げなくても、光クロストークを減少させることのできる光機能デバイスおよびその製造方法を得ること。【解決手段】導波路基板201には、第1〜第Nの導波路コア2021、2022、......202Nが配置されており、これらの端部には第1〜第Nの受光素子2031、2032、......203Nとこれらに光を反射させるための第1〜第Nのミラー収容室2041、2042、......204Nとが配置されている。ミラー収容室2041、2042、......204Nは導波路端面の露出している面を除いて金属でコートされている。第1〜第Nの導波路コア2021、2022、......202Nとそれぞれ並行に遮蔽溝2051〜205N+1が配置されており、これらの内面も金属でコートされている。このようなコートによって迷光対策が図られている。

請求項（抜粋）：

基板と、この基板上の少なくとも一部の領域に形成した金属層と、この金属層の上に形成したクラッド層と、このクラッド層中に間隔を置いて配置された複数の導波路コアと、これら複数の導波路コアそれぞれの中間位置に設けられた細長い窪みであって、内面が光を反射または吸収する物質で被覆され、前記クラッド層の上面から前記金属層または前記基板に至る溝と、前記クラッド層の上を被覆した遮光性の樹脂とを具備することを特徴とする光機能デバイス。

IPC (2件)：

G02B 6/122 , G02B 6/13

FI (2件)：

G02B 6/12 B , G02B 6/12 M

Fターム (9件)：

2H047KA04 , 2H047LA09 , 2H047MA07 , 2H047PA03 , 2H047PA04 , 2H047PA21 , 2H047PA24 , 2H047QA01 , 2H047TA01

引用特許：

審査官引用 (7件)

光導波路ならびに光電子混在基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-094040 出願人：京セラ株式会社
光学素子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-194771 出願人：ソニー株式会社
特開平4-152396

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