特許
J-GLOBAL ID：200903093184914950
電界放出冷陰極および冷陰極の製作方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-215775
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063460
出願日： 1995年08月24日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 電界放出冷陰極は陰極に被覆処理を施さないと電子放出動作が不安定で、一方、被覆した場合には、被覆する材料および被覆の方法によって、高温の熱処理が必要となり冷陰極自体を損なうか、または、被覆により陰極先端部の尖鋭形状を劣化させていた。【解決手段】 電界放出冷陰極を構成する陰極1の表面または先端部がダイヤモンド状カーボン2で被覆されるようにし、陰極表面を被覆するにあたっては、その被覆を電子サイクロトロン共鳴プラズマ堆積法によって行うようにした。
請求項（抜粋）：
尖鋭な先端形状を有する陰極と該陰極の先端部を取り囲むように配置されたゲート電極との間に電圧を印加し、該電圧の印加により前記陰極に電界を集中させ電子を放出させるようにした電界放出冷陰極において、前記陰極の表面がダイヤモンド状カーボンで被覆されていることを特徴とする電界放出冷陰極。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01J 1/30 A
, H01J 9/02 C
, H01J 9/02 B
