静電容量式センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：梶良之 , 須原誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-277058
公開番号（公開出願番号）：特開2008-096229
出願日： 2006年10月11日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：

【課題】センサ感度を低下させることなく、小型化を可能にする。【解決手段】静電容量式センサは、固定部300に固定された4つの可撓部を有する第1フランジと、第1フランジに対向するように配置された4つの可撓部を有する第2フランジとを有している。第1フランジの各可撓部の中央部に形成された連結体と第2フランジの各可撓部の中央部に形成された連結体とは連結されている。固定部300の上面には、一対の電極E11、E12、一対の電極E21、E22、一対の電極E31、E32、一対の電極E41、E42が固定されている。一対の電極、第1フランジの可撓部、第2フランジの可撓部及び連結体の組は、Z軸を中心に90度おき且つZ軸から等距離に配置されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

平面上に配置された一対の電極と、前記一対の電極のそれぞれの電極と対向し、各電極との間で容量素子をそれぞれ構成する第1可撓部と、前記第1可撓部を有する第1部材と、前記第1可撓部に対向する第2可撓部を有する第2部材と、前記第1可撓部と前記第2可撓部とを連結する連結体とを備え、前記一対の電極のそれぞれの電極に対応した容量素子の静電容量値の変化に基づいて前記平面上の前記一対の電極の配列方向に平行な方向の力及び前記平面に垂直な方向の力を検出することを特徴とする静電容量式センサ。

IPC (2件)：

G01L 1/14 , G01L 5/16

FI (2件)：

G01L1/14 J , G01L5/16

Fターム (3件)：

2F051AB06 , 2F051DA03 , 2F051DB03

引用特許：

出願人引用 (1件)

力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-123243 出願人：株式会社ワコー

審査官引用 (9件)

力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-123235 出願人：株式会社ワコー
特開平4-148833
多次元方向に関する力・加速度・磁気の検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-306587 出願人：岡田和廣

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