特許
J-GLOBAL ID：200903093668847343
クリーンルーム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中島 淳 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-294370
公開番号（公開出願番号）：特開平9-137979
出願日： 1995年11月13日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルームの階高を低減させ、空気吐出による動圧の影響を無くして均一な吹き出し風速が得られるようにする。【解決手段】 サプライチャンバー30を仕切ってプレナムチャンバー40を構成する天井パネル38には、所定の間隔で取付口42が形成されている。取付口42からは、プレナムチャンバー40内に位置するようにプラグファン46が挿入されている。プレナムチャンバー40の大きな空間にプラグファン46から空気を送るので、プレナムチャンバー40内がほぼ均一な静圧分布となり、HEPAフィルター36からの空気の吹き出し風速が均一化される。空気循環装置44は、プラグファン46と駆動モーター48とで構成されているので、ハウジングがない分だけ、クリーンルーム10の階高を低くすることができる。
請求項（抜粋）：
クリーンゾーンの天井部に設けられたフィルターと、クリーンゾーンの通気床の下部に形成された下部チャンバーと、前記クリーンゾーンの天井部に形成され前記下部チャンバーと連通する上部チャンバーと、前記上部チャンバーを仕切り前記フィルターとの間に中間チャンバーを構成する天井パネルと、前記上部チャンバーから順次空気を前記中間チャンバー、前記フィルター、前記クリーンゾーン、及び下部チャンバーへと流下させ、さらに上部チャンバーへと循環させる空気循環装置と、で構成されたローカルリターン方式のクリーンルームにおいて、前記空気循環装置が駆動モータとファンで構成され、前記天井パネルに所定の間隔で形成された取付口から前記ファンが前記中間チャンバー内へ突出するように空気循環装置が前記天井パネルに脱着可能に取付けられたことを特徴とするクリーンルーム。
引用特許：
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