特許
J-GLOBAL ID：200903093697102276

複合曲げ振動系を用いた超音波ワイヤボンダ

発明者：
辻野 次郎丸

辻野 次郎丸 について


出願人/特許権者：
辻野 次郎丸

辻野 次郎丸 について


代理人 (1件)： 塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-265100
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087437
出願日： 1997年09月12日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】【課題】 超音波ワイヤボンダにおいて、ワイヤ長さ方向と、駆動用縦振動子の振動方向を合致することを必要とせず、キャピラリの着脱可能な無方向性ワイヤボンダを提供すること。【解決手段】 直交する2個の駆動用縦振動子1、2で、複合曲げ振動子5を励振し、同複合曲げ振動子5の先端にキャピラリ6を着脱する構造であって、電気的にキャピラリ6の振動方向を調整することによる無方向性超音波ワイヤボンダ。
請求項（抜粋）：
2個の縦振動子及びそれらの両振動子に直交して結合した複合曲げ振動子よりなる複合曲げ振動系を用い、同複合曲げ振動子の中心部にワイヤ挿通用の穴を貫通させ、該穴の先端にワイヤボンディング用のキャピラリを着脱可能な構造としたことを特徴とする複合曲げ振動系を用いた超音波ワイヤボンダ。
IPC (2件)：
H01L 21/607 ,  H01L 21/60 301
FI (2件)：
H01L 21/607 A ,  H01L 21/60 301 G
引用特許：
審査官引用 (8件)
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