ターゲット組立ユニットおよびスパッタリング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：角田嘉宏 , 古川安航
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-260693
公開番号（公開出願番号）：特開2008-081763
出願日： 2006年09月26日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：

【課題】ターゲットの適所を連結部にして冷却板に着脱可能にターゲットを連結することにより、ターゲットの交換作業効率化、ターゲットの面内方向熱歪防止化、バッキングプレート再利用化およびターゲットのワイドエロージョン対応容易化を図りつつ、スパッタリング装置の稼働時(減圧時)の冷却板によるターゲットの冷却能力を適切に確保可能な、ターゲット組立ユニットおよびスパッタリング装置を提供する。【解決手段】ターゲット組立ユニットTは、スパッタリング用のターゲット10と、第1連結手段19を介してターゲット10を固定するとともに、第2連結手段15を介してケーシング13に支持される冷却板11と、を備え、ターゲット10は、第1連結手段19の外力に基づいて冷却板11の表面に沿うように弾性変形される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

スパッタリング用のターゲットと、第1連結手段を介して前記ターゲットを固定するとともに、第2連結手段を介してケーシングに支持される冷却板と、を備え、前記ターゲットは、前記第1連結手段の外力に基づいて前記冷却板の表面に沿うように弾性変形される、ターゲット組立ユニット。

IPC (1件)：

C23C 14/34

FI (1件)：

C23C14/34 C

Fターム (4件)：

4K029CA05 , 4K029DC23 , 4K029DC25 , 4K029DC39

引用特許：

出願人引用 (9件)

特許第3390338号公報
スパッタリング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-145313 出願人：日電アネルバ株式会社
特開昭61-250167号公報

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