特許
J-GLOBAL ID:200903093882092694
固体撮像素子用カバーガラス及びその製造方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
内藤 照雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-334787
公開番号(公開出願番号):特開2008-187170
出願日: 2007年12月26日
公開日(公表日): 2008年08月14日
要約:
【課題】高い機械的強度と高い光学性能、さらに安定した化学的な性能を有する清浄度の高い固体撮像素子用カバーガラス及びその製造方法を提供する。【解決手段】固体撮像素子用カバーガラス10は、無機酸化物ガラス製の薄板状で、板厚方向に対向する2つの透光面11、12の少なくとも一方の面に被覆膜C1、C2を有し、カバーガラス10の外周端面がレーザーにより切断された面13、14よりなり、被覆膜C1、C2がレーザー切断以前に成膜されてなることを特徴とする。【選択図】図2
請求項(抜粋):
無機酸化物ガラス製の薄板状の固体撮像素子用カバーガラスであって、
板厚方向に対向する2つの透光面の少なくとも一方の面に被覆膜を有し、カバーガラスの外周端面がレーザーにより切断された面よりなり、被覆膜がレーザー切断以前に成膜されてなることを特徴とする固体撮像素子用カバーガラス。
IPC (2件):
FI (3件):
H01L27/14 D
, H01L23/02 F
, H01L23/02 J
Fターム (9件):
4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA32
, 4M118CA34
, 4M118EA01
, 4M118EA14
, 4M118HA02
, 4M118HA11
引用特許:
出願人引用 (9件)
全件表示
審査官引用 (4件)