特許
J-GLOBAL ID:200903010599287087
流体制御装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-278495
公開番号(公開出願番号):特開平11-118054
出願日: 1997年10月13日
公開日(公表日): 1999年04月30日
要約:
【要約】【課題】 集積化、部品数の減少およびメンテナンスの容易さの要求を満たす流体制御装置を提供する。【解決手段】 上段に配置された複数の流体制御部材7,8,9,10および下段に配置された複数の継手11,12,13,14,15を備えている。左から2番目の流体制御部材8は、上方取出し可能なように継手12に取り付けられたブロック状本体18に、1つのプレッシャーレギュレータ19と1つの圧力センサ20とが一体的に設けられたものである。左から3番目の流体制御部材9 は、上方取出し可能なように継手13,14 に取り付けられたブロック状本体22に、複数の開閉弁23,24 が一体的に設けられたものである。
請求項(抜粋):
上段に配置された複数の流体制御部材および下段に配置された複数の継手を備え、少なくとも1つの流体制御部材が、上方取出し可能なように継手に取り付けられたブロック状本体に、複数の単機能部材が一体的に設けられたものである流体制御装置。
IPC (3件):
F16K 27/00
, F15B 1/00
, G05D 7/00
FI (3件):
F16K 27/00 B
, F15B 1/00 Z
, G05D 7/00 Z
引用特許:
審査官引用 (16件)
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ガス供給ユニット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-180383
出願人:シーケーディ株式会社
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ガス供給装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-045929
出願人:株式会社東芝, シーケーディ株式会社
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特開平2-261983
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ガス供給集積ユニット及びそのシステム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-058148
出願人:シーケーディ株式会社
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特開平2-261983
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プロセスガス供給ユニット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-122525
出願人:シーケーディ株式会社
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開閉弁取付構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-284061
出願人:シーケーディ株式会社, 株式会社東芝
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流体制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-133708
出願人:大見忠弘, 株式会社フジキン
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ガス供給集積ユニット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-017156
出願人:シーケーディ株式会社
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ガス供給集積ユニット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-145432
出願人:シーケーディ株式会社
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ガス制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-135266
出願人:株式会社本山製作所
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特開平2-245504
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流体制御器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-182350
出願人:株式会社フジキン
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ブロック弁
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-134414
出願人:株式会社フジキン
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特開昭58-211091
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特開平2-261983
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