特許
J-GLOBAL ID：200903094683974005
薄膜圧電体素子とその製造方法およびハードディスクドライブ用薄膜圧電体素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-028272
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229611
出願日： 2002年02月05日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：
【要約】【課題】 単結晶酸化マグネシウム基板以外の基板の使用を可能とする。【解決手段】 第1電極金属膜310Aと第1薄膜圧電体210Aと第2電極金属膜330Aとがこの順に積層された積層体と、第3電極金属膜320Aと第2薄膜圧電体220Aと第4金属膜340Aとがこの順に積層された積層体とが、第2電極金属膜330Aと第4電極金属膜340Aとで接着され、その少なくとも一部が樹脂150で被覆され、第1電極金属膜310Aと第3電極金属膜320Aとに駆動電圧を印加するための第1端子を備え、第2電極金属膜330Aと第4電極金属膜340Aとにグランド電圧を印加するための第2端子を備える薄膜圧電体素子であって、単結晶酸化マグネシウム基板に代えて酸化マグネシウム膜を成膜したシリコン基板を用いる。
請求項（抜粋）：
第1電極金属膜(310A)と第1薄膜圧電体(210A)と第2電極金属膜(330A)とがこの順に積層された積層体と、第3電極金属膜(320A)と第2薄膜圧電体(220A)と第4金属膜(340A)とがこの順に積層された積層体とが、前記第2電極金属膜(330A)と前記第4電極金属膜(340A)とで接着され、その少なくとも一部が樹脂(150)で被覆され、前記第1電極金属膜(310A)と前記第3電極金属膜(320A)とに駆動電圧を印加するための第1端子を備え、前記第2電極金属膜(330A)と前記第4電極金属膜(340A)とにグランド電圧を印加するための第2端子を備える薄膜圧電体素子であって、少なくとも前記第1電極金属膜(310A)または前記第3電極金属膜(320A)の一方の、前記薄膜圧電体(210A、220A)が形成されていない側の面に、(200)面に優先配向した酸化マグネシウム膜(510A、520A)が形成されていることを特徴とする薄膜圧電体素子。
IPC (7件)：
H01L 41/083
, G11B 5/596
, G11B 21/10
, G11B 21/21
, H01L 41/08
, H01L 41/18
, H01L 41/22
G11B 5/596
, G11B 21/10 N
, G11B 21/21 C
, H01L 41/08 S
, H01L 41/08 D
, H01L 41/22 Z
, H01L 41/18 101 Z
5D042LA01
, 5D042MA15
, 5D059AA01
, 5D059BA01
, 5D059CA18
, 5D059DA19
, 5D059DA26
, 5D059DA33
, 5D059EA08
, 5D096NN03
, 5D096NN07
