アクティブ除振装置およびアクティブ除振方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：藤田考晴 , 上田邦生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-131746
公開番号（公開出願番号）：特開2005-315298
出願日： 2004年04月27日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：

【課題】除振性能に影響を及ぼす搭載物の挙動をも考慮したアクティブ除振装置を提供する。【解決手段】搭載物2が載置されるとともに、除振対象周波数範囲内で弾性振動モードを有するテーブル3と、テーブル3を駆動する複数のアクチュエータ11と、テーブル3の状態量を測定するテーブル用センサ13,14と、テーブル用センサ13,14の出力を用いるとともに、テーブル3の弾性振動モードを考慮した状態方程式に基づいて、各アクチュエータ13,14を制御する制御部9とを備えた、搭載物2を除振するアクティブ除振装置1において、搭載物2の状態量を測定する搭載物用センサ10を備え、制御部9は、搭載物用センサ10の出力を用いて各アクチュエータ11を制御することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

搭載物が載置されるとともに、除振対象周波数範囲内で弾性振動モードを有するテーブルと、該テーブルを駆動する複数のアクチュエータと、前記テーブルの状態量を測定するテーブル用センサと、該テーブル用センサの出力を用いるとともに、前記テーブルの前記弾性振動モードを考慮した状態方程式に基づいて、各前記アクチュエータを制御する制御部と、を備えたアクティブ除振装置において、前記搭載物の状態量を測定する搭載物用センサを備え、前記制御部は、前記搭載物用センサの出力を用いて各前記アクチュエータを制御することを特徴とするアクチィブ除振装置。

IPC (3件)：

F16F15/02 , G05D19/02 , H01L21/027

FI (3件)：

F16F15/02 A , G05D19/02 D , H01L21/30 503F

Fターム (9件)：

3J048AB14 , 3J048AB15 , 3J048AD03 , 3J048DA01 , 3J048EA07 , 3J048EA13 , 5F046AA23 , 5F046CC01 , 5F046CC02

引用特許：

出願人引用 (7件)

特許第2673321号公報
アクティブ除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-199751 出願人：株式会社日立製作所
加振台の多モード振動制御法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-367806 出願人：協和合金株式会社, 背戸一登

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審査官引用 (10件)

アクティブ除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-199751 出願人：株式会社日立製作所
加振台の多モード振動制御法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-367806 出願人：協和合金株式会社, 背戸一登
ローパスフィルターを含む最適・準最適振動制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-341147 出願人：三井造船株式会社, 協和合金株式会社, 背戸一登

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引用文献：

審査官引用 (3件)

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