特許
J-GLOBAL ID：200903094956481821
両頭研削装置及びウェーハの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-133954
公開番号（公開出願番号）：特開2009-279704
出願日： 2008年05月22日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
【課題】両頭研削において、ウェーハのノッチ周辺の変形を抑制してナノトポグラフィーを改善し、また、ウェーハ及びホルダーの破損率を低減して製品歩留まりの向上と装置コストの削減をすることができる両頭研削装置及びウェーハの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】少なくとも、結晶方位を示すノッチを有する薄板状のウェーハを、前記ノッチに係合する突起部を有し、径方向に沿って外周側から支持する自転可能なリング状のホルダーと、前記ホルダにより支持されたウェーハの両面を同時に研削する一対の砥石とを具備する両頭研削装置であって、前記ホルダーに、前記結晶方位用のノッチに係合する突起部とは別に、少なくとも1つ以上の突起部を設け、該突起部を、前記ウェーハに形成されたウェーハ支持用のノッチと係合させてウェーハを支持して回転させ、前記一対の砥石で前記ウェーハの両面を同時に研削する両頭研削装置。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
少なくとも、結晶方位を示すノッチを有する薄板状のウェーハを、前記ノッチに係合する突起部を有し、径方向に沿って外周側から支持する自転可能なリング状のホルダーと、前記ホルダにより支持されたウェーハの両面を同時に研削する一対の砥石とを具備する両頭研削装置であって、
前記ホルダーに、前記結晶方位用のノッチに係合する突起部とは別に、少なくとも1つ以上の突起部を設け、該突起部を、前記ウェーハに形成されたウェーハ支持用のノッチと係合させてウェーハを支持して回転させ、前記一対の砥石で前記ウェーハの両面を同時に研削するものであることを特徴とする両頭研削装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B7/17 Z
, H01L21/304 631
3C043BC06
, 3C043CC04
, 3C043CC11
, 3C043DD06
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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