マルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-378996
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212078
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】光励振と光計測を行うことにより、個々のカンチレバーに励振や検出用の素子を組み込む必要がなく、カンチレバーアレーの構造を簡単なものにとどめ、カンチレバーの高いQ値や、高周波作動、修飾方法の多様性を得ることができるマルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置を提供する。【解決手段】カンチレバー2〜nの固有振動数がそれぞれ異なるカンチレバーアレー11を用い、その固有振動を変調光励振によって順次励振し、その振動をレーザドップラー計によって計測する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固有振動数がそれぞれ異なる複数のカンチレバーの固有振動を変調励振によって順次励振し、その振動をレーザドップラー計によって計測することを特徴とするマルチカンチレバーの振動周波数の計測方法。

IPC (1件)：

G01N13/10

FI (1件)：

G01N13/10 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

走査型プローブ顕微鏡装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-365119 出願人：科学技術振興事業団
特許第2848539号
探針ユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-344514 出願人：カシオ計算機株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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