特許
J-GLOBAL ID：200903000647673800

走査型プローブ顕微鏡装置

発明者：
川勝 英樹

川勝 英樹 について


出願人/特許権者：
科学技術振興事業団

科学技術振興事業団 について


代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-365119
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168754
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：
【要約】【課題】 SEM機能とSPM機能のそれぞれの特徴を十分に生かしきったナノ構造体の観察、評価、加工を行うことができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡装置1は、試料Aがセットされる試料台3を有する走査型電子顕微鏡2と、前記試料台3に装着される走査型プローブ顕微鏡4とを具備する。
請求項（抜粋）：
(a)試料がセットされる試料台を有する走査型電子顕微鏡と、(b)前記試料台に装着される走査型プローブ顕微鏡とを具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡装置。
IPC (3件)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G01N 23/225
FI (5件)：
G01N 13/10 A ,  G01N 13/10 D ,  G01N 13/10 F ,  G01B 21/30 ,  G01N 23/225
Fターム (18件)：
2F069AA60 ,  2F069DD20 ,  2F069GG02 ,  2F069GG07 ,  2F069GG59 ,  2F069GG62 ,  2F069GG65 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ04 ,  2F069MM21 ,  2F069MM32 ,  2F069MM34 ,  2F069RR09 ,  2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03
引用特許：
審査官引用 (10件)
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