特許
J-GLOBAL ID：200903095164640341
容量式力学量検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
矢作 和行
, 野々部 泰平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-287852
公開番号（公開出願番号）：特開2008-107108
出願日： 2006年10月23日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：
【課題】加速度の検出と、センサ部の自己診断とを同時に実行可能な容量式加速度検出装置を提供する。【解決手段】検出対象である加速度が変化する周波数の上限よりも高い周波数で可動部5を振動させ、このときに加速度センサ30から出力されるセンサ信号に基づいて、判定部24にてセンサ部20の異常を自己診断する。加速度センサ30からのセンサ信号は、デジタルフィルタ32においてフィルタ処理され、可動部5の振動周波数に対応する周波数成分が除去される。その結果、可動部5に印加された加速度に応じた信号を得ることができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
検出対象である力学量の印加に応じて変位する可動電極と、当該可動電極に対向して配置された固定電極とからなり、前記力学量の印加に応じて前記可動電極が変位すると、前記可動電極と固定電極間の静電容量が変化するセンサ部と、
前記センサ部における静電容量の変化を電圧信号の変化に変換するC-V変換回路と、
前記検出対象である力学量が変化する周波数の上限よりも高い周波数で、前記可動電極を振動させるための駆動電圧を、前記可動電極と固定電極間に与える駆動手段と、
前記駆動手段によって前記可動電極と固定電極間に前記駆動電圧が与えられた時に、前記C-V変換回路から出力される電圧信号に基づいて、前記可動電極の異常を診断する自己診断手段と、
前記C-V変換回路によって変換された電圧信号に対して、前記駆動手段による前記可動電極の振動周波数に相当する周波数成分を除去するフィルタ処理を行い、前記可動電極に印加された力学量に応じた信号を出力するフィルタ手段とを備えることを特徴とする自己診断機能を備えた容量式力学量検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
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容量式物理量検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-108454
出願人：株式会社デンソー
審査官引用 (8件)
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