特許
J-GLOBAL ID：200903095286436842
増加したフォトスピードを有するフォトレジスト
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-005972
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249448
出願日： 2001年01月15日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：
【要約】【課題】 化学的組成を変えることなしに、ドライフィルム一次フォトレジストのフォトスピードを増加させる方法を提供する。また、フォトレジストレリーフイメージを形成する方法を開示する。【解決手段】 ドライフィルム一次フォトレジストから保護コーティングを除去し、該ドライフィルム一次フォトレジストを基体に接触させ、さらに該ドライフィルム一次フォトレジストを該基体に真空ラミネートさせて積層構造物を形成させる工程を含む、ドライフィルム一次フォトレジストのフォトスピードを増加させる方法が提供される。
請求項（抜粋）：
ドライフィルム一次フォトレジストから保護コーティングを除去し、該ドライフィルム一次フォトレジストを基体に接触させ、さらに該ドライフィルム一次フォトレジストを該基体に真空ラミネートさせて積層構造物を形成させる工程を含む、ドライフィルム一次フォトレジストのフォトスピードを増加させる方法。
IPC (5件)：
G03F 7/004 512
, G03F 7/028
, G03F 7/38 501
, H05K 3/00
, H05K 3/28
G03F 7/004 512
, G03F 7/028
, G03F 7/38 501
, H05K 3/00 F
, H05K 3/28 D
