特許
J-GLOBAL ID:200903095475180077
圧電/電歪デバイス及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
千葉 剛宏 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-169584
公開番号(公開出願番号):特開2001-320103
出願日: 2000年06月06日
公開日(公表日): 2001年11月16日
要約:
【要約】【課題】デバイスの軽量化、中でも可動部又は固定部の軽量化及び可動部の変位の増大化と高速化(高共振周波数化)を達成させると共に、デバイスのハンドリング性並びに可動部への部品の取付性又はデバイスの固定性を向上させる。【解決手段】相対向する一対の薄板部12a及び12bと、これら薄板部12a及び12bを支持する固定部14を具備し、一対の薄板部12a及び12bにそれぞれ圧電/電歪素子18a及び18bが配設された圧電/電歪デバイス10において、可動部20a及び20bは、互いに対向する端面34a及び34bを有し、端面34a及び34b間の距離Lcを可動部20a及び20bの長さDf以上にして構成する。
請求項(抜粋):
相対向する一対の薄板部と、これら薄板部を支持する固定部とを具備し、前記一対の薄板部の先端部分に可動部を有し、前記一対の薄板部のうち、少なくとも1つの薄板部に1以上の圧電/電歪素子が配設された圧電/電歪デバイスであって、前記可動部又は固定部のいずれか一方は、互いに対向する端面を有し、前記端面間の距離が前記可動部の長さ以上であることを特徴とする圧電/電歪デバイス。
IPC (7件):
H01L 41/09
, B06B 1/06
, H01L 41/08
, H01L 41/083
, H01L 41/187
, H01L 41/22
, H02N 2/00
FI (8件):
B06B 1/06 Z
, H02N 2/00 B
, H01L 41/08 J
, H01L 41/08 Z
, H01L 41/08 N
, H01L 41/18 101 B
, H01L 41/18 101 C
, H01L 41/22 Z
Fターム (6件):
5D107AA02
, 5D107AA05
, 5D107AA13
, 5D107CC03
, 5D107CC05
, 5D107DD11
引用特許:
出願人引用 (12件)
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微動機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-274078
出願人:キヤノン株式会社
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特開平2-277012
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アクチュエータのダンパー構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-095081
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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審査官引用 (14件)
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微動機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-274078
出願人:キヤノン株式会社
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特開平2-277012
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特開平2-277012
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