キャリブレーションされた瞳カーネルを生成する方法、プログラム、および装置、ならびにそのリソグラフィシミュレーションプロセスでの使用

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：稲葉良幸 , 大賀眞司 , 大貫敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-290622
公開番号（公開出願番号）：特開2008-124469
出願日： 2007年11月08日
公開日（公表日）： 2008年05月29日
要約：

【課題】瞳を有する光学結像システムの結像性能をシミュレーションするモデルを生成する方法を提供する。【解決手段】この方法は、光学結像システムおよび光学結像システムが利用するプロセスを定義するステップと、光学結像システムおよびプロセスの結像性能を表すモデル式を定義するステップであって、モデル式はキャリブレーションされた瞳カーネルを含む、該ステップと、を含む。キャリブレーションされた瞳カーネルは瞳性能の線形モデルを表す。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

瞳を有する光学結像システムの結像性能をシミュレーションするモデルを生成する方法であって、前記光学結像システムおよび前記光学結像システムが利用するプロセスを定義するステップ、および前記光学結像システムおよび前記プロセスの結像性能を表すモデル式を定義するステップであって、該モデル式はキャリブレーションされた瞳カーネルを含む、該ステップ、を含み、前記キャリブレーションされた瞳カーネルは瞳性能の線形モデルを表す、方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 1/08

FI (2件)：

H01L21/30 516F , G03F1/08 A

Fターム (6件)：

2H095BB02 , 2H095BB36 , 2H095BC09 , 5F046AA17 , 5F046CB25 , 5F046CB27

引用特許：

審査官引用 (5件)

結像光学系の結像評価方法、結像光学系、露光装置、露光方法、および観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-386886 出願人：株式会社ニコン
光強度計算のパラメトリック解析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-005371 出願人：日本電気株式会社
較正固有分解モデルを使用した製造信頼性検査及びリソグラフィ・プロセス検証方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-054574 出願人：アスムルマスクツールズビー.ブイ.

全件表示

前のページに戻る