特許
J-GLOBAL ID：200903096301061849

マスク部材貼付装置および塗布システム

発明者：
川越 理史

川越 理史 について

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増市 幹雄

増市 幹雄 について

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松家 毅

松家 毅 について

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高村 幸宏

高村 幸宏 について

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相良 秀一

相良 秀一 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-123236
公開番号（公開出願番号）：特開2009-272208
出願日： 2008年05月09日
公開日（公表日）： 2009年11月19日
要約：
【課題】流動性材料が塗布される基板上の非塗布領域に流動性材料の付着を防止するマスク部材を粘着剤層を介して貼付するマスク部材貼付装置において、マスク部材の貼付時に粘着剤層が押し潰されて塗布領域にはみ出てしまうことを防止する。【解決手段】マスク部材貼付装置では、マスク部材12が基板9の非塗布領域92に向けて押圧されることにより、マスク部材12が、非塗布領域92上に形成された粘着剤層11を介して基板9上に貼付される。粘着剤層11は、粘着材料111および粒状のスペーサ112を含んでいるため、マスク部材12の基板9の主面90からの高さはスペーサ112の直径におよそ等しくされる。また、マスク部材12の貼付時に粘着剤層11が押し潰されて塗布領域91へとはみ出してしまうことを防止することができる。その結果、基板9の塗布領域91に有機EL液を高精度に塗布することができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
流動性材料が塗布される基板の主面上の非塗布領域に、前記非塗布領域に対する前記流動性材料の付着を防止するマスク部材を貼付するマスク部材貼付装置であって、 基板を保持する基板保持部と、 帯状のマスク部材を、粘着材料と粒状のスペーサとを含む粘着剤層を介して前記基板の主面上の非塗布領域と塗布領域との間の境界と平行に前記非塗布領域に貼付する貼付機構と、 を備えることを特徴とするマスク部材貼付装置。
IPC (5件)：
H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/04 ,  B05C 21/00 ,  B05C 5/00
FI (6件)：
H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 D ,  H05B33/04 ,  B05C21/00 ,  B05C5/00 101
Fターム (25件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC35 ,  3K107CC45 ,  3K107DD50 ,  3K107DD58 ,  3K107DD71 ,  3K107DD78 ,  3K107EE54 ,  3K107EE55 ,  3K107GG06 ,  3K107GG35 ,  3K107GG37 ,  4F041AA02 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA34 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042DF18 ,  4F042DF22 ,  4F042DG01 ,  4F042DG08 ,  4F042DG11 ,  4F042DG17
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 薄膜形成装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-268234   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 塗布装置および塗布方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-251239   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 有機EL素子の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-028513   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
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審査官引用 (2件)

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