特許
J-GLOBAL ID：200903047613652320

発光装置の作製方法および製造装置

発明者：
山崎 舜平

山崎 舜平 について

, 
村上 雅一

村上 雅一 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-109813
公開番号（公開出願番号）：特開2004-006311
出願日： 2003年04月15日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：
【課題】EL材料の利用効率が高く、膜の均一性に優れた蒸着装置を提供する。【解決手段】本発明は、蒸着源ホルダ17と被蒸着物(基板13)との間隔dを30cm以下、好ましくは20cm以下、さらに好ましくは5〜15cmと狭め、さらに蒸着の際、基板を固定したまま、蒸着源ホルダ17を絶縁物(バンク、隔壁とも呼ばれる)10に合わせてX方向またはY方向に移動させ、且つ、シャッター15を開閉することによって成膜を行う。本発明により、EL材料の利用効率が高く、膜の均一性に優れた蒸着装置を実現できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板に対向して配置した蒸着源から有機化合物を含む材料を蒸着させて、前記基板上に設けられた第1の電極上に有機化合物を含む膜を形成し、該有機化合物を含む膜上に第2の電極を形成する発光装置の作製方法であって、 前記第1の電極の一部を覆う絶縁物で区切られた領域に合わせて蒸着源を移動させて前記第1の電極上に有機化合物を含む膜を形成する工程と、 該有機化合物を含む膜上に第2の電極を形成する工程とを有することを特徴とする発光装置の作製方法。
IPC (4件)：
H05B33/10 ,  C23C14/06 ,  C23C14/24 ,  H05B33/14
FI (4件)：
H05B33/10 ,  C23C14/06 Q ,  C23C14/24 G ,  H05B33/14 A
Fターム (18件)：
3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA24 ,  4K029BA45 ,  4K029BA50 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DA09 ,  4K029DA12 ,  4K029DB11 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18 ,  4K029HA02
引用特許：
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM