特許
J-GLOBAL ID：200903096903791740

ペリクルの剥離方法及びこの方法に用いる剥離装置

発明者：
濱田 裕一

濱田 裕一 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 野口 恭弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-115994
公開番号（公開出願番号）：特開2009-301022
出願日： 2009年05月12日
公開日（公表日）： 2009年12月24日
要約：
【課題】使用済みペリクルを露光原版より容易に剥離することができ、剥離後の露光原版に粘着剤残渣による再汚染がないような、ペリクルの剥離方法及びこの方法に用いる剥離装置を提供すること。【解決手段】ペリクルフレームの一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜を張設し、他端面に露光原版粘着層を設けたリソグラフィ用ペリクルを露光原版から剥離する方法であって、前記粘着層に紫外光を照射する工程を含むことを特徴とする、ペリクルの剥離方法、及び、前記粘着層に紫外光を照射する光源を備えた剥離装置。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームの一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜を張設し、他端面に露光原版粘着層を設けたリソグラフィ用ペリクルを露光原版から剥離する方法であって、 前記粘着層に紫外光を照射する工程を含むことを特徴とする、ペリクルの剥離方法。
IPC (1件)：
G03F 1/14
FI (1件)：
G03F1/14 J
Fターム (1件)：
2H095BC34
引用特許：
審査官引用 (6件)
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