圧電体、圧電素子、および圧電アクチュエータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：布施行夫 , 大渕美千栄 , 永田美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-065771
公開番号（公開出願番号）：特開2009-221037
出願日： 2008年03月14日
公開日（公表日）： 2009年10月01日
要約：

【課題】チタン酸ジルコン酸鉛系の圧電体であって、圧電特性が良好な組成を有する圧電体を提供すること。【解決手段】本発明の圧電体は、組成式(1)、Pb(ZrxTi1-x)1-yMyO3・・・(1)(式中、Mは、TaおよびNbの少なくとも一方であり、かつ、ZrおよびTiの少なくとも一方を置換している。式中、xは、0.51≦x≦0.57の範囲であり、yは、0.05≦y<0.2の範囲である。)で示されるペロブスカイト型化合物を含み、ペロブスカイト型化合物は、添加物として、SiO2およびGeO2の少なくとも一方を含有し、添加物の添加量は、前記ペロブスカイト型化合物に対して、0.5モル%以上5モル%以下である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

下記、組成式(1) Pb(ZrxTi1-x)1-yMyO3・・・(1) (式中、Mは、TaおよびNbの少なくとも一方であり、かつ、ZrおよびTiの少なくとも一方を置換している。式中、xは、0.51≦x≦0.57の範囲であり、yは、0.05≦y<0.2の範囲である。) で示されるペロブスカイト型化合物を含み、前記ペロブスカイト型化合物は、添加物として、SiO2およびGeO2の少なくとも一方を含有し、前記添加物の添加量は、前記ペロブスカイト型化合物に対して、0.5モル%以上5モル%以下である、圧電体。

IPC (6件)：

C04B 35/49 , H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/18 , H01L 41/24 , H01L 41/22

FI (6件)：

C04B35/49 B , H01L41/08 C , H01L41/18 101D , H01L41/18 101Z , H01L41/22 A , H01L41/22 Z

Fターム (14件)：

4G031AA11 , 4G031AA12 , 4G031AA14 , 4G031AA15 , 4G031AA27 , 4G031AA30 , 4G031AA32 , 4G031BA10 , 4G031CA01 , 4G048AA03 , 4G048AB02 , 4G048AC01 , 4G048AD02 , 4G048AD08

引用特許：

出願人引用 (1件)

強誘電体膜、強誘電体メモリ装置、圧電素子、半導体素子、圧電アクチュエータ、液体噴射ヘッド及びプリンタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-302900 出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (3件)

ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛膜、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛積層体およびその製造方法、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、並びに、電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-086188 出願人：セイコーエプソン株式会社
圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、および電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-277859 出願人：セイコーエプソン株式会社
強誘電体膜の形成方法および強誘電体膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-308173 出願人：セイコーエプソン株式会社

引用文献：

審査官引用 (2件)

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