特許
J-GLOBAL ID：200903079181319101

圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、および電子機器

発明者：
宮澤 弘

宮澤 弘 について

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木島 健

木島 健 について

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名取 栄治

名取 栄治 について

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青山 拓

青山 拓 について

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岩下 節也

岩下 節也 について

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樋口 天光

樋口 天光 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 井上 一 ,  布施 行夫 ,  大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-277859
公開番号（公開出願番号）：特開2005-150694
出願日： 2004年09月24日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
【課題】 良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。【解決手段】 本発明に係る圧電体膜5は, A1-bB1-aXaO3の一般式で示され、 Aは、Pbを含み、 Bは、ZrおよびTiのうちの少なくとも一つからなり、 Xは、V、Nb、Ta、Cr、Mo、およびWのうちの少なくとも一つからなり、 aは、0.05≦a≦0.3の範囲であり、 bは,0.025≦b≦0.15の範囲である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
A1-bB1-aXaO3の一般式で示され、 Aは、Pbを含み、 Bは、ZrおよびTiのうちの少なくとも一つからなり、 Xは、V、Nb、Ta、Cr、Mo、およびWのうちの少なくとも一つからなり、 aは、0.05≦a≦0.3の範囲であり、 bは、0.025≦b≦0.15の範囲である、圧電体膜。
IPC (14件)：
H01L41/187 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  C04B35/49 ,  F04B9/00 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24 ,  H02N2/00 ,  H03B5/30 ,  H03H9/145 ,  H03H9/17 ,  H03H9/25
FI (17件)：
H01L41/18 101C ,  C04B35/49 Z ,  F04B9/00 B ,  H02N2/00 B ,  H03B5/30 A ,  H03H9/145 C ,  H03H9/17 F ,  H03H9/25 C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/22 A ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H
Fターム (41件)：
2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AG59 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP51 ,  2C057AP58 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  3H075AA00 ,  3H075BB04 ,  3H075CC25 ,  3H075CC32 ,  3H075CC36 ,  3H075DA05 ,  3H075DB02 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA13 ,  4G031AA14 ,  4G031AA15 ,  4G031AA16 ,  4G031AA17 ,  4G031AA18 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  5J079AA08 ,  5J079BA43 ,  5J079HA06 ,  5J079HA22 ,  5J079KA08 ,  5J097AA28 ,  5J097EE08 ,  5J097FF02 ,  5J097KK09 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108EE04
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (13件)
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引用文献：
審査官引用 (5件)
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