特許
J-GLOBAL ID：200903097695465474
エッチング用組成物及びエッチング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-157974
公開番号（公開出願番号）：特開2008-311436
出願日： 2007年06月14日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
要約：
【課題】リン酸系の窒化ケイ素のエッチング用組成物では、酸化ケイ素に対する窒化ケイ素の選択エッチング性及び酸化ケイ素の再析出のないものがなかった。【解決手段】リン酸、可溶性ケイ素化合物、硝酸及び/又は硝酸塩、水を含んでなり、しかもフッ酸を含有しない窒化ケイ素のエッチング用組成物では、酸化ケイ素に対する窒化ケイ素のエッチング選択比が高く、なおかつバッチ処理を繰り返した場合における酸化ケイ素の再析出の問題がない。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
リン酸、可溶性ケイ素化合物、硝酸及び/又は硝酸塩、及び水を含んでなり、なおかつフッ酸を含有しない窒化ケイ素のエッチング用組成物。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5F043AA35
, 5F043BB23
, 5F043GG10
出願人引用 (3件)
審査官引用 (5件)
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