特許

J-GLOBAL ID：200903097813758341

ペブロスカイト型酸化物、これを用いた圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及びペブロスカイト型酸化物の製造方法

発明者： 松田 堅義 ,  武田 憲一 ,  福井 哲朗 ,  伊福 俊博 ,  青木 活水 ,  舟窪 浩 ,  横山 信太郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社 ,  国立大学法人東京工業大学
代理人 (3件)： 宮崎 昭夫 ,  石橋 政幸 ,  緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-227005
公開番号（公開出願番号）：特開2007-084424
出願日： 2006年08月23日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】均一性が高く、圧電特性が高く、薄膜であっても強度を有し、密着度が高く、優れた耐久性を有るペロブスカイト型酸化物を得ること。また、ペロブスカイト型酸化物を簡単に大面積として作製すること。【解決手段】単結晶構造または一軸配向結晶構造のABO3で表されるペロブスカイト型酸化物であって、Aサイトの主成分にPbを含みBサイトに複数の元素を含み、正方晶、菱面体晶、斜方晶、立方晶、擬似立方晶及び単斜晶から選ばれる複数の結晶相を有し、該複数の結晶相が<100>配向している。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

単結晶構造または単一配向一軸配向結晶構造のABO3で表されるペロブスカイト型酸化物であって、 Aサイトの主成分にPbを含み、Bサイトに複数の元素を含み、 正方晶、菱面体晶、斜方晶、立方晶、擬似立方晶及び単斜晶から選ばれる複数の結晶相を有し、該複数の結晶相が<100>配向していることを特徴とするペロブスカイト型酸化物。

IPC (7件)：

C30B 29/32 ,  C30B 23/06 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (8件)：

C30B29/32 D ,  C30B23/06 ,  C23C14/08 K ,  C23C14/34 B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 J ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 C

Fターム (21件)：

4G077AA03 ,  4G077AB02 ,  4G077BC03 ,  4G077BC33 ,  4G077BC34 ,  4G077BC36 ,  4G077BC40 ,  4G077BC43 ,  4G077BC48 ,  4G077DA11 ,  4G077EC02 ,  4G077EC07 ,  4G077HA11 ,  4G077SB03 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA50 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC12 ,  4K029EA01

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 圧電磁器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-055777   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 亜鉛ニオブ酸鉛-チタン酸鉛混晶系強誘電体単結晶を用いた電気光学効果素子及びそれを用いた光スイッチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-074252   出願人：富士通株式会社
• 圧電体デバイス、液体吐出ヘッド、強誘電体デバイス及び電子機器並びにこれらの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-380102   出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (4件)

• チタン酸ジルコニウム酸鉛系膜、誘電体素子、誘電体膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-209766   出願人：財団法人理工学振興会, 独立行政法人産業技術総合研究所
• 強誘電体素子、不揮発性強誘電体メモリ素子、インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェットプリンタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-253480   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電体膜及び圧電アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-324775   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開平3-060453