特許
J-GLOBAL ID：200903097904855854
走査プローブ顕微鏡用探針の製造方法、検査方法、使用方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
石田 敬
, 鶴田 準一
, 西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-060157
公開番号（公開出願番号）：特開2004-271276
出願日： 2003年03月06日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：
【課題】単層カーボンナノチューブから成る尖頭部を備えた走査プローブ顕微鏡用探針の製造方法、検査方法およb使用方法を提供する。【解決手段】単層カーボンナノチューブから成る尖頭部を備えた走査プローブ顕微鏡用探針の製造方法であって、探針基体の先端に触媒金属を付与した後、走査プローブ顕微鏡内で不活性ガス雰囲気下において、細針状カーボン電極間に生起させたアーク放電で上記探針基体先端の触媒付与部を照射することにより、該触媒付与部に単層カーボンナノチューブを成長させる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
単層カーボンナノチューブから成る尖頭部を備えた走査プローブ顕微鏡用探針の製造方法であって、
探針基体の先端に触媒金属を付与した後、走査プローブ顕微鏡内で不活性ガス雰囲気下において、細針状カーボン電極間に生起させたアーク放電で上記探針基体先端の触媒付与部を照射することにより、該触媒付与部に単層カーボンナノチューブを成長させることを特徴とする走査プローブ顕微鏡用探針の製造方法。
IPC (4件)：
G01N13/16
, C01B31/02
, G01N13/12
, G12B21/08
G01N13/16 C
, C01B31/02 101F
, G01N13/12 D
, G12B1/00 601D
4G146AA12
, 4G146AB08
, 4G146BA01
, 4G146BB23
, 4G146BC15
, 4G146BC17
, 4G146BC23
, 4G146BC24
, 4G146BC29
, 4G146BC44
, 4G146DA03
, 4G146DA33
