特許
J-GLOBAL ID：200903083347608198
表面形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-004830
公開番号（公開出願番号）：特開2004-219170
出願日： 2003年01月10日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】アスペクト比(高さ/幅又は高さ)が大きい測定対象に対し、適切な測定ができる表面形状測定装置を提供するもので、特に、高分解能な表面形状測定装置である原子間力顕微鏡や磁気力顕微鏡などのプローブ顕微鏡の提供を目的とする。【解決手段】プローブを用いて試料形状を測定する形状測定装置において、試料側及びプローブ側に角度補正機構を設け、角度が既知の試料の測定結果と、実際に測定する試料の傾き度合いとにより、試料側及びプローブ側の設けた角度補正機構により角度を修正して形状を測定する構成とした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
プローブを備え、該プローブを用いて試料形状を測定する表面形状測定装置において、試料側とプローブ側の少なくとも一方に角度補正機構を備え、角度が既知の参照試料の測定結果と、測定する試料の傾き度合いとにより、前記角度補正機構により角度を修正して、形状を測定することを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (3件)：
G01N13/10
, G01B21/30
, G12B21/22
G01N13/10 D
, G01N13/10 B
, G01B21/30
, G12B1/00 601H
2F069AA60
, 2F069BB15
, 2F069DD19
, 2F069EE07
, 2F069EE26
, 2F069GG04
, 2F069GG06
, 2F069GG07
, 2F069HH01
, 2F069JJ15
, 2F069MM04
, 2F069MM24
, 2F069MM38
