特許
J-GLOBAL ID：200903051221354442
ナノ構造物の探針先端生成方法及びその生成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-186030
公開番号（公開出願番号）：特開2004-025371
出願日： 2002年06月26日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】極微細な探針先端部を生成させるとともに、その成長方向を制御可能なナノ構造物の探針先端生成方法及びその生成装置を提供する。【解決手段】チャンバー(1)と、探針加熱手段(7)と、触媒の設定手段と、触媒(3)と探針(5)間に印加される電界印加手段(8)と、カンチレバー移動手段(6)とを具備する。あらかじめ作製した探針を触媒に接触させ、高温に保持することによって触媒材料の探針先端への拡散を生じさせ、カーボンナノチューブやシリコン髭状結晶の成長を生じさせるようにする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
金属やシリコンで作製した1個の探針の先端の所定の方向にカーボンナノチューブを成長させることを特徴とするナノ構造物の探針先端生成方法。
IPC (6件)：
B82B3/00
, B81C5/00
, C30B29/62
, C30B29/66
, G01N13/10
, G12B21/02
B82B3/00
, B81C5/00
, C30B29/62 S
, C30B29/62 Z
, C30B29/66
, G01N13/10
, G12B1/00 601A
4G077AA04
, 4G077BA02
, 4G077BA04
, 4G077DB01
, 4G077EJ01
, 4G077JA01
, 4G077TA02
, 4G077TA11
