特許

J-GLOBAL ID：200903098062046800

新規樹脂及びそれを用いた感放射線性樹脂組成物

発明者： 川上 峰規 ,  杉浦 誠 ,  楠本 士朗 ,  下川 努
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (4件)： 小島 清路 ,  萩野 義昇 ,  谷口 直也 ,  早川 大刀夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-010401
公開番号（公開出願番号）：特開2007-191566
出願日： 2006年01月18日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：

【課題】ドライエッチング耐性が優れ且つLWRが小さい化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物。【解決手段】下記式で表される繰り返し単位(1)を含有し、酸の作用によりアルカリ可溶性となるアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

一般式(1)で表される繰り返し単位(1)を含有し、酸の作用によりアルカリ可溶性となるアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂。

IPC (3件)：

C08F 20/28 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

C08F20/28 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (33件)：

2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AL03Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL24Q ,  4J100AL26P ,  4J100AL26R ,  4J100BC02Q ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC12Q ,  4J100BC52P ,  4J100BC52R ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ラクトン構造を有する(メタ)アクリレート誘導体、重合体、フォトレジスト組成物、及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-188853   出願人：日本電気株式会社
• ポジ型フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-285762   出願人：富士写真フイルム株式会社

審査官引用 (4件)

• ラクトン化合物、ラクトン含有単量体、高分子化合物、それを用いたレジスト材料及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-266071   出願人：セントラル硝子株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-056522   出願人：ジェイエスアール株式会社, インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
• 重合体、製造方法、レジスト組成物およびパターン形成法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-296457   出願人：三菱レイヨン株式会社
• レジスト組成物用重合体、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-183640   出願人：三菱レイヨン株式会社