特許
J-GLOBAL ID：200903098333156380

水晶基板及び押圧装置

発明者：
原田 昌樹

原田 昌樹 について

, 
栗村 直

栗村 直 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について

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独立行政法人物質・材料研究機構

独立行政法人物質・材料研究機構 について


代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-276001
公開番号（公開出願番号）：特開2004-107187
出願日： 2002年09月20日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：
【課題】ホットプレス法において、水晶面を均一に押圧できることができる押圧装置を提供する。【解決手段】上部ブロック12は、軸受ブロック20に接しており、軸受ブロック20は、上部プレート21に結合されている。上部ブロック12は、その上面に半径R1に凸面加工された凸部22を有し、軸受ブロック20は、その下面に半径R2(R2>R1)に凹面加工された凹部23を有している。このようにすることにより、押圧時には必ず水晶基板11の面に対して上部押圧プレート15の押圧面が倣うようになり、水晶基板11に一様な荷重が印加されるようになる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
ホットプレス法により水晶中に相転移型双晶を形成するために用いられる水晶基板であって、片面に押圧装置の受圧面となる凸部が形成された段差構造を有し、当該段差構造は、リソグラフィ露光技術とドライエッチングの組み合わせで形成されたものであることを特徴とする水晶基板。
IPC (1件)：
C30B29/18
FI (1件)：
C30B29/18
Fターム (4件)：
4G077AA02 ,  4G077BB03 ,  4G077FE10 ,  4G077HA01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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