プラズマ発生電極装置およびプラズマ発生装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-135328
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026192
出願日： 1995年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】発生したプラズマに対して十分な耐蝕性を備え、プラズマシースを安定に生成させ、エッチング、CVD、PVD等の各処理を、サセプターの全面にわたって安定に実施できるようなプラズマ発生電極装置を提供する。【解決手段】緻密質セラミックスからなる基体1と、基体1中に埋設された電極9とを備えており、電極9と基体1のプラズマ発生側の表面1aとの間に存在する電磁波透過層4の厚さの最小値が0.1mm以上である。好ましくは、電磁波透過層4の厚さの平均値が0.5mm以上であり、電磁波透過層4の厚さの平均値が5.0mm以下であり、電極9が金属バルク体からなる面状の電極であり、電極を包囲する基体1が、接合面のない一体焼結品である。

請求項（抜粋）：

緻密質セラミックスからなる基体と、この基体中に埋設された電極とを備えているプラズマ発生電極装置であって、この電極と前記基体のプラズマ発生側の表面との間に存在する電磁波透過層の厚さの最小値が0.1mm以上であることを特徴とする、プラズマ発生電極装置。

IPC (5件)：

H05H 1/46 , C23C 16/50 , C23F 4/00 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (6件)：

H05H 1/46 M , H05H 1/46 L , C23C 16/50 , C23F 4/00 A , H01L 21/205 , H01L 21/302 B

引用特許：

出願人引用 (8件)

セラミックスヒーター
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-302351 出願人：日本碍子株式会社
特開平4-282590
耐蝕性部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-058727 出願人：日本碍子株式会社

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審査官引用 (9件)

セラミックスヒーター
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-302351 出願人：日本碍子株式会社
特開平4-282590
耐蝕性部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-058727 出願人：日本碍子株式会社

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