特許
J-GLOBAL ID：200903098866978196

洗浄方法および洗浄装置

発明者：
田中 忠玄

田中 忠玄 について

, 
塩見 元信

塩見 元信 について

, 
上野 晃裕

上野 晃裕 について


出願人/特許権者：
倉敷紡績株式会社

倉敷紡績株式会社 について


代理人 (3件)： 鮫島 睦 ,  田村 恭生 ,  北原 康廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-286740
公開番号（公開出願番号）：特開2009-131841
出願日： 2008年11月07日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：
【課題】被洗浄物がたとえ複雑形状を有する場合であっても、被洗浄物表面上の汚染物質を十分に除去できる洗浄方法および洗浄装置を提供する。【解決手段】純水にオゾンを溶解させたオゾン水に紫外線を照射して洗浄液を得るための紫外線照射処理槽6、紫外線照射処理槽6内で得られた洗浄液を供給する管路15および洗浄液を被洗浄物に接触させるための手段7を備え、オゾン水に紫外線を照射して洗浄液を得た直後に、当該洗浄液を被洗浄物に接触させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
純水にオゾンを溶解させたオゾン水に紫外線を照射して洗浄液を得た後、該洗浄液を被洗浄物に接触させることを特徴とする洗浄方法。
IPC (4件)：
B08B 3/10 ,  B08B 3/08 ,  H01L 21/304 ,  C23G 1/00
FI (4件)：
B08B3/10 Z ,  B08B3/08 Z ,  H01L21/304 647Z ,  C23G1/00
Fターム (44件)：
3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AA46 ,  3B201AB01 ,  3B201BB02 ,  3B201BB22 ,  3B201BB92 ,  3B201BC01 ,  3B201CB01 ,  3B201CD42 ,  3B201CD43 ,  4K053PA11 ,  4K053QA04 ,  4K053QA07 ,  4K053RA07 ,  4K053RA12 ,  4K053RA40 ,  4K053SA04 ,  4K053SA06 ,  4K053SA08 ,  4K053YA03 ,  5F157AA09 ,  5F157AA28 ,  5F157AA42 ,  5F157AA43 ,  5F157BB02 ,  5F157BB08 ,  5F157BB22 ,  5F157BB76 ,  5F157BC03 ,  5F157BC09 ,  5F157BC13 ,  5F157BC16 ,  5F157BC54 ,  5F157BD33 ,  5F157BE12 ,  5F157BF22 ,  5F157BH15 ,  5F157CE28 ,  5F157CF40 ,  5F157CF42 ,  5F157DB03 ,  5F157DB12 ,  5F157DB51
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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