特許
J-GLOBAL ID:200903098923072174

ワイヤボンダ用ボール形成装置及びその方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 羽切 正治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-048098
公開番号(公開出願番号):特開2000-252316
出願日: 1999年02月25日
公開日(公表日): 2000年09月14日
要約:
【要約】【課題】 ばらつきの少ない所定の大きさのボールを形成すること。特に、小ボールを安定して形成すること。【解決手段】 電流設定手段から出力される出力値を時間とともに直線的に上昇する電圧に変換する電圧-時間変換手段と、前記電流設定手段の出力値と前記電圧変換手段の出力値との加算を行う加算手段とを備え、前記加算手段からの信号により放電中の電流を制御することにより放電エネルギーを徐々に増加させ、所定の形状のボールを形成する。
請求項(抜粋):
キャピラリ先端から送り出されたワイヤの先端と放電電極との間に高電圧を印加することにより放電を起こさせ、その放電エネルギーによりワイヤの先端部を溶融してボールを形成するワイヤボンダ用ボール形成装置であって、放電電流を設定する電流設定手段と、前記電流設定手段から出力される出力値を受けて、時間とともに直線的に上昇する電圧に変換する電圧-時間変換手段と、前記電流設定手段の出力値と前記電圧-時間変換手段の出力値との加算を行う加算手段とを備え、前記加算手段からの信号により放電中の電流を制御することを特徴とするワイヤボンダ用ボール形成装置。
Fターム (1件):
5F044BB11
引用特許:
出願人引用 (8件)
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