特許
J-GLOBAL ID：200903098980457333

差圧・圧力センサ

発明者：
東條 博史

東條 博史 について

, 
米田 雅之

米田 雅之 について


出願人/特許権者：
株式会社山武

株式会社山武 について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-082210
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277337
出願日： 2001年03月22日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：
【要約】【課題】 静圧検出用のゲージを最適位置に設けることにより、感度が静圧に対して高く、差圧に対して低く、クロストークを低減する。【解決手段】 センサチップ2の中央部にダイアフラム3を形成し、ダイアフラム3の表面周縁部に差圧または圧力検出用のゲージ6a〜6dを設ける。センサチップ2の厚肉部2aの裏面を台座4に接合する。台座4に段差部10を形成し、センサチップ2の厚肉部2aを、台座4に接合される接合部13Aと、非接触部13とする。静圧検出用のゲージ15a〜15dを非接合部13のセンサチップ表面に設ける。
請求項（抜粋）：
センサチップの中央部にダイアフラムを有し、このダイアフラムに差圧または圧力検出用のゲージを設け、前記ダイアフラムを取り囲む厚肉部の裏面側を台座に接合した差圧・圧力センサにおいて、前記センサチップと前記台座との接合部の中間位置から外側にかけて非接合部を設けるとともに、静圧検出用のゲージを前記非接合部のセンサチップ表面に設けたことを特徴とする差圧・圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/04 101 ,  G01L 13/06 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01L 9/04 101 ,  G01L 13/06 R ,  H01L 29/84 Z
Fターム (15件)：
2F055BB03 ,  2F055BB05 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055DD07 ,  2F055EE14 ,  2F055FF11 ,  2F055GG14 ,  2F055GG16 ,  2F055GG35 ,  4M112CA08 ,  4M112CA15 ,  4M112EA03 ,  4M112EA10 ,  4M112FA09
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (3件)
  • 特開昭61-056465
  • 半導体圧力変換器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-215802   出願人：山武ハネウエル株式会社
  • 半導体複合機能センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-249556   出願人：株式会社日立製作所

前のページに戻る

TOP

BOTTOM