特許
J-GLOBAL ID:200903099203530376
半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
稲岡 耕作
, 川崎 実夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-117180
公開番号(公開出願番号):特開2006-295062
出願日: 2005年04月14日
公開日(公表日): 2006年10月26日
要約:
【課題】逆方向リーク電流および順方向電圧の低減が可能な半導体装置を提供する。 【解決手段】ショットキバリアダイオードは、N型半導体基板1と、ショットキ電極3と、ショットキ電極3と半導体基板1との間に逆バイアス電圧が印加されたときに空乏層を生じさせることによりリーク電流を抑制するリーク抑制構造部としてのP型拡散層2とを備える。半導体基板1の表層部において、P型拡散層2に挟まれた領域には、ショットキ電極3との間にショットキ界面を形成するN+型高濃度層5が設けられている。P型拡散層2の代わりに、トレンチゲート構造部をリーク抑制構造部として配置してもよい。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
第1導電型の半導体基板と、
この半導体基板の表面との間にショットキ界面を形成するショットキ電極と、
前記半導体基板の表層部に形成され、前記ショットキ電極と前記半導体基板との間に逆バイアス電圧が印加されたときに空乏層を生じさせることによりリーク電流を抑制するリーク抑制構造部と、
前記半導体基板の表層部において、前記リーク抑制構造部に挟まれた領域に形成され、前記第1導電型を有し、前記半導体基板よりも不純物濃度が高く、前記ショットキ電極との間に前記ショットキ界面を形成する高濃度層とを含むことを特徴とする半導体装置。
IPC (2件):
FI (1件):
Fターム (9件):
4M104AA01
, 4M104BB01
, 4M104BB40
, 4M104CC03
, 4M104CC05
, 4M104FF32
, 4M104FF35
, 4M104GG03
, 4M104HH20
引用特許:
出願人引用 (2件)
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ショットキーバリア半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-228454
出願人:ローム株式会社
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-231511
出願人:新電元工業株式会社
審査官引用 (11件)
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ショットキバリアを有する半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-407651
出願人:サンケン電気株式会社
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ショットキーダイオード及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-110591
出願人:株式会社デンソー
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-357648
出願人:日本インター株式会社
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特開昭64-054761
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特開昭59-143370
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特開昭56-037683
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ショットキーバリアダイオードの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-240173
出願人:富士電機株式会社
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-231511
出願人:新電元工業株式会社
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特開昭64-054761
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特開昭59-143370
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特開昭56-037683
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