特許
J-GLOBAL ID：200903099210389336

磁気センサおよびその製造方法ならびに電流センサ

発明者：
庄司 茂

庄司 茂 について

, 
高橋 正人

高橋 正人 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (2件)： 三反崎 泰司 ,  藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-288822
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101252
出願日： 2005年09月30日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：
【課題】測定対象とする電流を高精度に安定して測定可能であると共に、より小さく簡素な構成の電流センサを提供する。【解決手段】電流センサ10は、MR素子3A,3Bを有する素子基板5A,5Bと磁性基板6A,6Bとを貼り合わせて一体化したものを検出対象電流Imの流路となる導体2に沿って配置したものである。磁性基板6A,6BによってMR素子3A,3Bに対してバイアス磁界Hb1,Hb2をそれぞれ印加することができるので、外部からの不要な擾乱磁界の影響を十分に回避しつつ、検出対象電流Imに基づく電流磁界Hmを正確に、かつ安定して検知することができる。そのうえ、永久磁石やコイルをMR素子3A,3Bの両側に配置するなどした場合と比べ、スペースを有効に利用して、より小さく簡素な全体構成とすることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一定方向に固着された磁化方向を有する固着層と中間層と外部磁界に応じて磁化方向が変化する自由層とを順に含む磁気抵抗効果素子が支持基板上に設けられた素子基板と、 前記素子基板の一方の面と貼り合わされて前記磁気抵抗効果素子に対してバイアス磁界を印加する磁性基板と を備えたことを特徴とする磁気センサ。
IPC (4件)：
G01R 33/09 ,  G01R 15/20 ,  H01L 43/02 ,  H01L 43/08
FI (4件)：
G01R33/06 R ,  G01R15/02 B ,  H01L43/02 Z ,  H01L43/08 B
Fターム (8件)：
2G017AA01 ,  2G017AB07 ,  2G017AC09 ,  2G017AD54 ,  2G025AA05 ,  2G025AA13 ,  2G025AB01 ,  2G025AC01
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特公平7-123090号公報
審査官引用 (7件)
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