切削装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：佐々木功 , 川村恭子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-354751
公開番号（公開出願番号）：特開2007-152531
出願日： 2005年12月08日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】切削ブレードの切り刃部を撮像してその欠けや磨耗を検出する機能を有する切削装置において、撮像用の光を通す光ファイバの配線に拘束されることなく、切削ブレードの状態を確実に把握できるように撮像することができる切削装置を提供する。【解決手段】切削ブレードの切り刃部の状態を検出する切削ブレード検出手段132を構成する発光手段109と撮像手段114とを対面させ、これらをブレードカバー104に装着する。発光手段109と撮像手段114とが対面するため、飛散する切削水の飛沫があっても、切削ブレード102の切り刃部102aの外周形状を明確に認識できる画像を取得することができる。また、発光手段109及び撮像手段114がブレードカバー104に装着されることにより、光ファイバを使用する必要がなく、配線の必要がない。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、該切削ブレードの切り刃部の状態を検出する切削ブレード検出手段とを少なくとも備えた切削装置であって、該切削手段は、該切削ブレードに切削水を供給する切削水ノズルを有するブレードカバーを備え、該切削ブレード検出手段は、該切削ブレードの切り刃部に対して照射する光の光源を含む発光手段と、該発光手段と対面し該切削ブレードの切り刃部を撮像する撮像素子を含む撮像手段とを少なくとも有し、該発光手段及び該撮像手段は、該ブレードカバーに装着される切削装置。

IPC (3件)：

B24B 49/12 , H01L 21/301 , B24B 27/06

FI (3件)：

B24B49/12 , H01L21/78 F , B24B27/06 M

Fターム (9件)：

3C034AA19 , 3C034BB93 , 3C034CA09 , 3C034CA22 , 3C034CB14 , 3C058AA03 , 3C058AC02 , 3C058CA01 , 3C058CB03

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第2627913号公報

審査官引用 (8件)

特許第2627913号
ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-054974 出願人：株式会社東京精密
ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-363001 出願人：株式会社東京精密

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