特許
J-GLOBAL ID：200903099827480829

オゾンガスの送給系での安全装置

発明者：
小池 国彦

小池 国彦 について

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泉 浩一

泉 浩一 について

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黒河 明

黒河 明 について


出願人/特許権者：
岩谷産業株式会社

岩谷産業株式会社 について

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独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


代理人 (1件)： 鈴江 正二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-150415
公開番号（公開出願番号）：特開2008-303096
出願日： 2007年06月06日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：
【課題】 オゾンガスの送給系においてオゾンガスの分解が始まると、それを検知してオゾンガス送給を遮断できるようにする。 【解決手段】 オゾンガス発生装置(1)とオゾンガス利用装置(2)とをオゾン供給路(3)で接続し、オゾンガス発生装置(1)で発生させたオゾンガスをオゾンガス利用装置(2)に送給するオゾンガスの送給系での安全装置である。オゾンガス供給路(3)内を流がれるオゾンガスのオゾンガス利用装置(2)側での圧力の異常変動または温度の異常変動をセンサー(7)で検出する。このセンサー(7)からの検出信号を異常判定装置(9)に入力し、この異常判定装置(9)での異常状態判定に基づきオゾンガス供給路(3)を流れるオゾンガスの流れを制限する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
オゾンガス発生装置(1)とオゾンガス利用装置(2)とをオゾン供給路(3)で接続し、オゾンガス発生装置(1)で発生させたオゾンガスをオゾンガス利用装置(2)に送給するオゾンガスの送給系において、 オゾンガス供給路(3)内を流れるオゾンガスのオゾンガス利用装置(2)側での圧力の異常変動または温度の異常変動をセンサー(7)で検出し、このセンサー(7)からの検出信号を異常判定装置(9)に入力し、この異常判定装置(9)での異常状態判定に基づきオゾンガス供給路(3)を流れるオゾンガスのガス流量を制限するように構成したオゾンガスの送給系での安全装置。
IPC (1件)：
C01B 13/10
FI (1件)：
C01B13/10 Z
Fターム (4件)：
4G042CA05 ,  4G042CB27 ,  4G042CD03 ,  4G042CE04
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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