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J-GLOBAL ID：201002217746385830   整理番号：10A0491166

マイクロカンチレバーの機械特性のプラズマ誘起劣化

Plasma-Induced Deterioration of Mechanical Characteristics of Microcantilever

著者 (6件)： TOMURA Maju (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HUANG Chi-Hsien (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YOSHIDA Yusuke (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ONO Takahito (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YAMASAKI Satoshi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  SAMUKAWA Seiji (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 4,Issue 2  ページ： 04DL20.1-04DL20.4  発行年： 2010年04月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン(Si)マイクロカンチレバー中にプラズマによって発生した欠陥の効果を調べた。ミクロカンチレバーのE′中心密度はアルゴン(Ar)プラズマ照射によって大きく増大した。一方,E′中心密度はAr中性ビーム(NB)を使ったとき,効率良く抑制された。ミクロカンチレバーのQ因子や共振周波数などの機械特性はプラズマ照射によって大きく低下した。これから,プラズマ照射はミクロ要素の機械特性を劣化することが明らかになった。これら結果はミクロ及びナノエレクトロメカニカル系(MEMS/MEMS)に相当影響がある。一方,NB照射では,両特性は照射後も基本的には変化しない。これはNB過程が極めて浅い損傷過程であることを示す。従って,NB過程は極めて有望で,ミクロ及びナノ製造過程において重要な役割を果たす。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 片持梁 ,  *ケイ素 ,  *プラズマ曝露 ,  アルゴン ,  Q値 ,  共振周波数 ,  MEMS ,  *照射損傷 ,  ナノ構造 ,  *ESR【磁気共鳴】 ,  *ダングリングボンド ,  常磁性中心 ,  中性粒子 ,  酸化ケイ素 ,  フォトリソグラフィー ,  エッチング
準シソーラス用語： NEMS ,  プラズマ照射 ,  *マイクロカンチレバー

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  金属・半導体のEPR  (BM07022M) ,  イオンとの相互作用  (BK16070Z)

引用文献 (18件)：

• S. Tadigadapa and K. Mateti: Meas. Sci. Technol.20(2009)092001.
• S. J. Kim, R. Dean, G. Flowers, and C. Chen: J. Mech. Des.131(2009)091002.
• M. Esashi and T. Ono: J. Phys. D 38(2005) R223.
• A. Matsutani, H. Ohtsuki, and F. Koyama: Jpn. J. Appl. Phys.48(2009)06FE09.
• T. Karnata and H. Arimoto: J. Appl. Phys.80(1996)2637.

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロカンチレバー ,  機械特性 ,  プラズマ ,  誘起